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激光焦點輪廓儀(LFP)

簡要描述:激光焦點輪廓儀(LFP):LFP 以 40 納米的分辨率測量衍射極限焦點處的強度分布。世界上極少能揭示任何激光設備的性能和像差的納米級光束輪廓儀。

  • 產(chǎn)品品牌:其他品牌
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時間:2024-11-28
  • 訪  問  量:328

詳細介紹

品牌其他品牌應用領(lǐng)域綜合

激光焦點輪廓儀(LFP) 

測量儀器

LFP 以 40 納米的分辨率測量衍射極限焦點處的強度分布。

世界上極少能揭示任何激光設備的性能和像差的納米級光束輪廓儀。

 

概覽

激光焦點輪廓儀(LFP)是用于測量激光焦點附近強度分布的精密測量儀器。LFP 是世界極少能夠測量由高數(shù)值孔徑(NA)透鏡形成的超細焦點的產(chǎn)品。

激光焦點附近的強度分布是許多激光微/納米技術(shù)的關(guān)鍵性能指標。它評估激光顯微鏡的空間分辨率、激光束加工的效率、光學數(shù)據(jù)存儲的記錄密度、基于光的力測量系統(tǒng)的彈簧常數(shù)、顯微鏡物鏡的性能。

使用 CCD/CMOS 相機的光束輪廓儀作為商業(yè)產(chǎn)品,可用于傳播激光束橫截面的強度分析。然而,由于像素尺寸大(至少超過一微米)導致的空間分辨率有限,很難直接應用于帶有顯微鏡物鏡的激光焦點。要將此輪廓儀應用于小于像素尺寸的焦點,需要用光學元件放大焦點并將其成像在探測器上。然而,這種放大方法可能會引入不想要的像差;很難對準,并且要求放大光學元件具有比用于聚焦激光束的更高的 ????。

刀刃法是另一種已被提出的原位技術(shù),但由于刀刃的鋒利度、偽影等若干原因,尚未針對小激光焦點實現(xiàn)商業(yè)化。

LFP 利用 40 納米大小的金納米粒子,能夠高精度地測量僅有幾百納米的高數(shù)值孔徑(~1.4)透鏡的焦點。

特點

l高分辨率(40 納米;納米粒子的大小)

l適用于高數(shù)值孔徑聚焦透鏡(~1.4)

l高度為 26 毫米的緊湊型傳感器,可在顯微鏡載物臺上操作

l無需調(diào)整

l精確測量原理(無像差,最小化偽影)

l三維測量

應用

l激光顯微鏡

l激光加工

l激光制造

l光學存儲器

l

l光學裝置整體

l包括液體浸沒透鏡在內(nèi)的各種顯微鏡物鏡

 

規(guī)格

零件清單

l包括消耗性探頭的 LFP 傳感器

l掃描儀(如果您選擇)

l控制器

l筆記本電腦

l電纜

LFP 傳感器

傳感器型號

LFP-UV-111100

LFP-VIS-166145

LFP-NIR-166145

激光波長

200 nm ~ 400 nm

400 nm ~ 1100 nm

1000 nm ~ 1700 nm

探頭

Gold nanoparticl 40 nm

Gold nanoparticl 40 nm

Gold nanoparticl 4 0nm

探頭數(shù)量(在光束照射區(qū)域,Φ100μm)

> 5

> 5

> 5

NALFP

1.11

1.66

1.66

截止數(shù)值孔徑

1.00

1.45

1.45

光敏度(V/nW)(典型值)

TBD

TBD

TBD

放大器截止頻率(Hz)

160

160

160

放大器增益

100M

100M

100M

尺寸(mm)

Φ30 H31

Φ30 H26

Φ30 H26

重量(g)

55

50

50

掃描儀

掃描儀型號

TBD XYZ

TBD XY

x/y/z

x/y

驅(qū)動類型

Piezoelectric element

Piezoelectric element

行程(μm)

120/120/60

120/120

在 50 克負載下的共振頻率(Hz)

155/155/155

155/155

重復性(nm)

±5/±5/±5

±5/±5

位置傳感器

Capacitive sensor

Capacitive sensor

孔徑(mm)

Φ30

Φ30

尺寸(mm)

□100 H26

□100 H26

重量(kg)

0.5

0.6

 

控制器

控制器

TBD XY

TBD XY

TBD NA

用于掃描儀驅(qū)動的輸出端口

Drive x 3ch(SMB)

Position sensor x 3ch(TJM)

Drive x 2ch(SMB)

Position sensor x 2ch(TJM)

AO(16bit,-10V to 10V) x 1ch, (TJM)

Pulse output x 1ch (TJM)

AO(16bit,0V to 10V) x 3ch(TJM)

Pulse output x 3ch (NBC)

反饋控制類型

PI Analog

PI Analog

N.A.

輸入傳感器端口

1ch (BNC)

1ch (BNC)

1ch (BNC)

輸入動態(tài)范圍

16bit

16bit

16bit

PC 通信總線

USB

USB

USB

電源

AC100  120V /

AC200  240V selection

AC100  120V /

AC200  240V selection

AC100  120V /

AC200  240V selection

功耗

100 VA

100 VA

50 VA

尺寸(mm)

W236×D388×H140

W236×D388×H140

TBD

重量(kg)

5.4

5.4

TBD

 

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